申请(专利)号：CN202510976757.2

申请日：2025-07-16

授权公告号：CN120489986B

授权公告日：2025-09-19

申请人：辽宁嘉顺科技有限公司

地址：115109 辽宁省营口市营口大石桥市永安镇辉庄村(经营场所:辽宁省营口大石桥市金牛山路99号)

发明人：高斌 王继奇 倪晶 赵恩猛 史锐 许勇 卞天赐 史轩赫 庞善文

主分类号：G01N21/25

分类号：G01N21/25;B24B49/12;G06F30/28;G16C20/70;G01N15/075;G06F119/14;G06F113/08

代理机构：安徽华晟智恒知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：黄建月

主权项：

1.一种氧化镁的研磨监测方法,其特征在于,包括以下步骤：从具有目标厚度的参考基材表面,采集由光反射生成的参考光谱;在研磨过程中,通过多个光学传感器,多角度捕获氧化镁研磨基材表面反射光谱;根据K值、粉尘时空浓度分布计算各个光学传感器的画面粉尘影响系数;确定角度修正因子以及画面粉尘影响系数综合分配各个光学传感器获取的反射光谱权重系数;根据各个光学传感器获取的反射光谱权重系数将各个光学传感器获取的反射光谱进行融合输出;将实时光谱与历史光谱库匹配,生成各区域的厚度指针,所述厚度指针为实时厚度估计值;对比各区域目标厚度,确定速率偏差;通过载具头分区压力控制系统,动态调整不同区域的研磨压力;使所有区域的研磨终点时间趋近一致;所述K值,确定光学传感器捕获范围区间,将光学传感器捕获范围区间与预测粉尘移动轨迹进行比对;若光学传感器被遮挡,则K=1,否则,K=0。

摘要：

本发明公开了一种氧化镁的研磨监测方法及系统,具体涉及研磨监测技术领域,本发明首先从从具有目标厚度的参考基材表面,采集由光反射生成的参考光谱;在研磨过程中,通过多个光学传感器,多角度捕获氧化镁研磨基材表面反射光谱;然后根据K值、粉尘时空浓度分布计算各个光学传感器的画面粉尘影响系数;确定角度修正因子以及画面粉尘影响系数综合分配各个光学传感器获取的反射光谱权重系数;根据各个光学传感器获取的反射光谱权重系数将各个光学传感器获取的反射光谱融合输出;最后将实时光谱与历史光谱库匹配;对比各区域目标厚度,确定速率偏差;通过压力控制系统,动态调整不同区域的研磨压力;使所有区域的研磨终点时间趋近一致。